Системы, оборудование и компоненты
| Вид материала | Документы |
СодержаниеТаблица к пункту 2.5.3.6 |
- Программа дисциплины «Системы управления эффективностью бизнеса», 164.3kb.
- Выставки в Пекине, 66.27kb.
- Т. Парсонс понятие общества: компоненты и их взаимоотношения', 505.5kb.
- Задание 1 Цель: оценить значение сердечника для получения магнитного поля катушки, 33.68kb.
- Вопросы к экзамену по курсу "Компьютерные системы и сети", 25.77kb.
- Вопросы к экзамену по дисциплине «Инструментальные системы», 39.24kb.
- Как автоматизировать производство: современное оборудование для асутп, 77.01kb.
- Управления, 411.72kb.
- Машиностроение, 219.74kb.
- 9 анализ модели с мультипликативной компонентой:, 108.81kb.
Таблица к пункту 2.5.3.6
Технические приемы нанесения покрытий
| Процесс нанесения покрытия (1) | Подложки | Получаемое покрытие |
| | | |
| 1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) | cуперсплавы | алюминиды на поверхности внутренних каналов |
| | керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14) | силициды, карбиды, диэлектрические слои (15), алмаз, алмазоподобный углерод (17) |
| | углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | силициды, карбиды, тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), алюминиды, сплавы на основе алюминидов (2), нитрид бора |
| | металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18) | карбиды, вольфрам, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15) |
| | молибден и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| Процесс нанесения покрытия (1) | Подложки | Получаемое покрытие |
| | | |
| | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои (15), алмаз, алмазоподобный углерод (17) |
| | материалы окон датчиков (9) | диэлектрические слои (15), алмаз, алмазоподобный углерод (17) |
| 2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом | | |
| 2.1. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком | суперсплавы | сплавы на основе силицидов, сплавы на основе алюминидов (2), MСrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), силициды, алюминиды, смеси перечисленных выше материалов (4) |
| | керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14) | диэлектрические слои (15) |
| | коррозионно-стойкие стали (7) | MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4) |
| | углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | силициды, карбиды, тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), нитрид бора |
| | металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18) | карбиды, вольфрам, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15) |
| | молибден и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои (15), бориды, бериллий |
| | материалы окон датчиков (9) | диэлектрические слои (15) |
| | титановые сплавы (13) | бориды, нитриды |
| 2.2. Ионно-ассистирован-ное физическое осаждение из паровой фазы, полученной резистивным нагревом (ионное осаждение) | керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14) углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17) диэлектрические слои (15) |
| | металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18) | диэлектрические слои (15) |
| | молибден и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| | материалы окон датчиков (9) | диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17) |
| 2.3. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной лазерным нагревом | керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14) | силициды, диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17) |
| | углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | диэлектрические слои (15) |
| | металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18) | диэлектрические слои (15) |
| | молибден и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| | материалы окон датчиков (9) | диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17) |
| 2.4. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной катодно-дуговым разрядом | суперсплавы | сплавы на основе силицидов, сплавы на основе алюминидов (2), MCrAlX (5) |
| | полимеры (11) и композиционные материалы с органической матрицей | бориды, карбиды, нитриды, алмазоподобный углерод (17) |
| 3. Твердофазное диффузионное насыщение (10) | углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | силициды, карбиды, смеси перечисленных выше материалов (4) |
| | титановые сплавы (13) | силициды, алюминиды, сплавы на основе алюминидов (2) |
| | тугоплавкие металлы и сплавы (8) | силициды, оксиды |
| 4. Плазменное напыление | суперсплавы | MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4), истираемый никель-графитовый материал, истираемый никель-хром-алюминиевый сплав, истираемый алюминиево-кремниевый сплав, содержащий полиэфир, сплавы на основе алюминидов (2) |
| | алюминиевые сплавы (6) | MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), силициды, смеси перечисленных выше материалов (4) |
| | тугоплавкие металлы и сплавы (8) | алюминиды, силициды, карбиды |
| | коррозионно-стойкие стали (7) | MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4) |
| | титановые сплавы (13) | карбиды, алюминиды, силициды, сплавы на основе алюминидов (2), истираемый никель-графитовый материал, истираемый никель-хром-алюминиевый сплав, истираемый алюминиево-кремниевый сплав, содержащий полиэфир |
| 5. Нанесение шликера | тугоплавкие металлы и сплавы (8) | оплавленные силициды, оплавленные алюминиды (кроме резистивных нагревательных элементов) |
| | углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | силициды, карбиды, смеси перечисленных выше материалов (4) |
| 6. Осаждение распылением | суперсплавы | сплавы на основе силицидов, сплавы на основе алюминидов (2), алюминиды, модифицированные благородным металлом (3), MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), платина, смеси перечисленных выше материалов (4) |
| | керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14) | силициды, платина, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17) |
| | титановые сплавы (13) | бориды, нитриды, оксиды, силициды, алюминиды, сплавы на основе алюминидов (2), карбиды |
| | углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей | силициды, карбиды, тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), нитрид бора |
| | металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18) | карбиды, вольфрам, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), нитрид бора |
| | молибден и его сплавы | диэлектрические слои (15) |
| | бериллий и его сплавы | бориды, диэлектрические слои (15), бериллий |
| | материалы окон датчиков (9) | диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17) |
| | тугоплавкие металлы и сплавы (8) | алюминиды, силициды, оксиды, карбиды |
| 7. Ионная имплантация | высокотемпературные подшипниковые стали | присадки хрома, тантала или ниобия |
| | титановые сплавы (13) | бориды, нитриды |
| | бериллий и его сплавы | бориды |
| | металлокерамический карбид вольфрама (16) | карбиды, нитриды |