Характерной чертой современного этапа развития науки, техники, экономики является широкое внедрение различных классов вычислительных машин

Вид материалаДокументы
Подобный материал:
1   2   3   4   5


Под влиянием образующегося электрического поля в транзисторе с встроенным каналом происходит расширение или сужение имеющегося канала. В таких транзисторах ток в цепи стока будет протекать и при нулевом напряжении на затворе. Для прекращения его необходимо к затвору приложить положительное напряжение (при структуре с каналом p-типа), равное или большее напряжения отсечки Uзи отс. При этом дырки из инверсного слоя будут практически полностью вытеснены в глубину полупроводника и канал исчезнет. При приложении отрицательного напряжения канал расширяется и ток увеличивается. Таким образом МДП-транзисторы с встроенными каналами работают как в режиме обеднения, так и в режиме обогащения, тогда как транзисторы с индуцированным каналом работают только в режиме обогащения.

При изменениях напряжения Uси МДП-транзисторы ведут себя так же, как и полевые транзисторы. При малых значениях Uси МДП-транзистор ведёт себя как линейно управляемое сопротивление. С увеличением Uси растет ток стока Ic, следовательно увеличивается вызванное им падение напряжения на канале, которое сужает канал. При напряжении Uси нас. канал вблизи стока становится настолько узким, что наступает динамическое равновесие, когда увеличение напряжения Uси вызывает уменьшение ширины канала и повышение его сопротивления. В итоге ток Ic мало меняется при дальнейшем увеличении напряжения Uси.

Транзисторы с индуцированным каналом имеют гораздо большее распространение, хотя они работают только при одной полярности напряжений на затворе – той, при которой возникает канал, однако эти транзисторы проще в изготовлении.

По механизму электропроводности каналов МДП-транзисторы с индуцированным каналом подразделяются на транзисторы с каналами n- и p-типов. В принципе, механизм работы и свойства транзисторов с n- и p-каналами одинаковы. Однако есть и некоторые различия. Так, n-канальные транзисторы более быстродействующие, так как подвижность их рабочих носителей – электронов примерно втрое превосходит подвижность дырок. Кроме того, у n- и p-канальных транзисторов структура приповерхностного слоя в равновесии оказывается разной и это отражается на величине порогового напряжения. Электронные схемы, в которых используется сочетание транзисторов с n- и p-каналами, называются комплементарными.

Для того чтобы схема, содержащая МДП-транзистор, имела два легко различимых состояния 0 и 1 и, таким образом, могла служить элементом логической ячейки, достаточно последовательно с транзистором в цепь сток-исток включить нагрузку Rн и источник напряжения E.

Например, схема с общим истоком и МДП- транзистором с встроенным каналом p-типа имеет вид:





Когда транзистор закрыт, его сопротивление очень велико и практически всё напряжение Е падает на транзисторе (Uвых0), а когда транзистор открыт, то всё напряжение Е падает на резисторе Rн (Uвых Е). Эти два легко различимых режима работы соответствуют состояниям “0” и “1” в схемах на основе МДП-транзисторов.

Важнейшим параметром транзистора в качестве элемента логических схем компьютера является скорость его переключения из открытого состояния в закрытое и обратно. Самое малое время переключения, которое в принципе может быть получено, примерно равно времени пролёта носителей  вдоль канала под действием приложенного напряжения Uси. При длине канала L и скорости носителей V время пролёта составит:



Скорость дрейфа носителей в электрическом поле Е равна:

V = U∙E,

где U – подвижность носителей.

Поскольку напряженность поля в канале





Таким образом, предельное быстродействие МДП-транзисторов определяется длиной канала и подвижностью носителей в материале, из которого изготовлен транзистор.

Минимальная длина канала ограничена технологическими факторами. Современные кремниевые МДП-транзисторы имеют длину канала 0,1-5 мкм. Собственное предельное время переключения – 3∙10-11с. Практическая скорость срабатывания серийной логической МДП-ячейки составляет 5∙10-9 с.

Существенным преимуществом МДП-транзисторов является высокое входное сопротивление, достигающее значений 1010÷1014 Ом.

В настоящее время промышленность выпускает транзисторы с двумя изолированными затворами (тетродные МОП-транзисторы). Управление током транзистора с помощью двух управляющих напряжений расширяет функциональные возможности логических схем, построенных на таких транзисторах.

В состав некоторых логических микросхем входят ряд МОП-структур со специфическими свойствами, в частности, бистабильные МДП-транзисторы. Запоминающие элементы на биполярных и МДП-транзисторах обладают тем существенным недостатком, что даже кратковременное отключение питания приводит к разрушению записанной информации. Бистабильные МДП-структуры позволяют создавать запоминающие элементы с электрической перезаписью и не разрушаемой при отключении питания информацией. Эти структуры бывают двух видов: 1) типа металл-нитрид-оксид-полупроводник (МНОП); 2) МОП-структуры с плавающим затвором. В структурах первого типа диэлектрик под затвором выполнен двухслойным.




Он состоит из тонкого слоя оксида SiO2 толщиной около 2 нм и толстого слоя нитрида кремния Si3N4 толщиной 50-100 нм. На границе этих двух слоёв, а также в слое нитрида имеются “ловушки” электронов. Поэтому при подаче на затвор положительного напряжения (28÷30)В электроны из подложки туннелируют через тонкий слой SiO2 и захватываются “ловушками”. Ловушки – это атомы примесей или дефекты кристаллической структуры, энергетические уровни которых находятся в запрещённой зоне. Электрон из зоны проводимости может перейти на энергетический уровень ловушки, затем либо вернуться назад, либо перейти в валентную зону. Таким образом в слое нитрида появляются неподвижные отрицательно заряженные ионы, созданный ими заряд повышает пороговое напряжение Uзи пор. Причем этот заряд может храниться в течение нескольких лет при отключении всех напряжений питания, так как слой SiO2 предотвращает какой-либо перенос заряда в отсутствие электрического поля достаточно большой напряженности.

Если на затвор подать большое отрицательное напряжение (28-30)В, то накопленный заряд рассасывается. После его отключения пороговое напряжение Uзи существенно уменьшается. Разность межпороговой зоны составляет ΔUпор12 В. на основе МНОП-структур выполняются запоминающие элементы, которые в зависимости от записанного в них “заряда” будут иметь малое или большое сопротивление при подаче одинакового напряжения Uзи, что соответствует уровням логической единицы и нуля. Межпороговая зона несколько уменьшается при многократно повторяемых процессах перезаписи, но при этом остаётся достаточно широкой (проторенная дорожка для электронов).

МОП-структуры с плавающим затвором – это транзисторы с однослойным диэлектриком, внутри которого на небольшом расстоянии от поверхности расположен не имеющий внешнего вывода плавающий затвор, выполненный из кристаллического кремния. Информация хранится в виде заряда на изолированном затворе.




В исходном состоянии заряд на плавающем затворе отсутствует и транзистор находится в состоянии “0”, характеризующемся отсутствием проводящего канала. При подаче высокого напряжения на сток или исток транзистора возникает лавинный пробой p-n-перехода, образованного этой областью и подложкой. При этом электроны приобретают достаточно большие энергии, позволяющие им проникнуть в изолирующий слой и достигнуть затвора. На затворе появляется отрицательный заряд. Величину заряда выбирают такой, чтобы он обеспечил появление электрически проводящего канала, соединяющего исток и сток. Таким образом транзистор переходит в состояние “1”. Благодаря низкой проводимости плёнки SiO2, окружающей затвор, заряд на нём, а, следовательно, и проводящее состояние транзистора, сохраняются длительное время, много лет (уменьшается заряд приблизительно на 25% за 10 лет).

Для возврата транзистора в исходное нулевое состояние необходимо удалить инжектированный заряд с плавающего затвора. Для этого область затвора подвергается воздействию ультрафиолетовым излучением (или ионизирующим излучением другого вида, рентгеновскими лучами). Мощность облучения ультрафиолетовыми лучами должна быть достаточной для ионизации и возникновения в цепи затвора фототока, в результате которого электроны рекомбинируют с дырками и заряд исчезает. Облучение проводят через специальные окошки из кварцевого стекла, имеющиеся в микросхемах. Источниками излучения служат кварцевые лампы.

Такие МОП-транзисторы используются для создания микросхем памяти компьютера. В итоге записи информации, осуществляемой рассмотренным способом, одни транзисторы становятся электропроводными, а другие – нет. Записанная информация может быть стёрта и вместо неё записана другая, хотя процессы стирания и перезаписи достаточно трудоёмки.

В настоящее время разработаны более усовершенствованные лавинно-инжекционные МОП-структуры с плавающим затвором, в которые введён второй управляющий затвор. В них стирание информации может быть выполнено импульсами напряжения амплитудой около 30В, что ускоряет и упрощает процесс перепрограммирования, т.е. смены информации в так называемых полупостоянных или программируемых ЗУ (ППЗУ).
и программируемых ЗУ (ППЗУ).